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解決事例-基板に銅スパッタリングで形成した回路への銅めっき
半導体関連 ZZ社
10cm程度の基板に銅スパッタリングで形成した回路への銅めっきの依頼で相談がありました。めっき厚公差の規格が厳しく、めっき装置、条件を検討することにより規格をクリアーすることができました。
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